林语知道,自从2002年后,DUV技术在干法ArF后期演化成两条方向,就是林语上面说的两种,而又以F2更加保守一些,现在最厉害的两个光刻机公司就选择的这种方法,所以刘成林他们选择这种也不奇怪。
但另外一种是继续使用193nm的ArF光源,但是将镜头和光刻胶之间的介质由空气改成液体。采用这种方法的公司在后世成为了光刻机的巨头,没几年就将现在的两家光刻机公司甩在后面。
所以能够证明,第二种方法更加正确。
当然了,后世的这家光刻机巨头将DUV(深紫外)激光制造,改为了EUV(极紫外)激光制造,因为这个才奠定了它巨头的身份。但是现在他们还没有开始研究极EUV光刻机,所以弯道超车也不是没有可能。
而且林语还知道另外一种光刻机,这是在他重生前刚刚看到的新闻,由华国制造出来,虽然还赶不上国外技术,但是相距也没多远了。
如果这个时候就开始研究,那么拥有两种技术的大马芯片,绝对能够成为霸主。让其它公司全都望尘莫及,但是在此之前,一定要完成全产业链布局,因为一旦将研发的光刻机推向市场,那么势必会带来国外的打压,一旦关键零部件被封锁,那么即便拥有先进的技术,也是造不出来光刻机的。
想到这的林语直接说道
“既然你们能够制造出光刻机,那么在深紫光技术上肯定有所建树,从现在开始,研究光刻机的人员分成两组,一组继续DUV光刻机的研发和制造,但是要更改一些路线,第一组,先选择193nm的紫光......”
说到这的林语看向众人,有些生气的说道
“你们难道不用拿笔记吗?我接下来要说的话,你们全都能够记在脑子里吗?”
所有人全都一愣,随即拿出了笔和纸,因为他们不知道老板究竟要让他们记什么?
林语再次说道