至于光刻机的未来之路，林语早在接管软件公司的时候，就已经和刘博文说过了，甚至提供了现成的发展方案，完全可以弯道超车。毕竟林语提供的是EUV光刻机的发展方向。这是2010年才成功研发出来的，距离现在还有四年的时间，完全是赶趟的。

另外林语也让其发展其它的方向，毕竟多条路就多个未来。

“这台光刻机是DUV的，还是EUV的？”

“DUV的。”刘博文回答道。

“是干式的还是湿式的？”

“干式的。”

“多少纳米的？”

“90纳米的。”

“国产零部件占比多少？”

“百分之四十以上吧！”

林语满意的点了点头，“不错，继续努力。”

虽然干式DUV较湿式DUV要落后一些，但是只用了不到两年的时间，就组装出一台自给率40%以上的光刻机，而且和最先进光刻机也相差不是太多，这已经很不错了。

当然了，最新款的光刻机是57纳米的。不过等到10年之后，光刻机的进步就是巨大的了，14纳米、7纳米、5纳米甚至3纳米，那可就真是技术的分水岭了。 联盟书库

所以在那之前，必须要将所有零部件吃透，争取做到百分百国产，至于光刻机，还不着急，有零部件在手，才能研究更高级的EUV光刻机，不过在此之前，湿式DUV光刻机也是要研发生产的。因为也能占据市场，甚至迷惑竞争对手。

“林哥放心，我们正在加紧研究拆下来的零部件，只是有些精度太高了，我们的设备无法达到，而且也不知道他们采用了什么样的工艺。”