第354章 挂帅DUV

林星石当即立下军令状,“两年!给我两年时间,我还国家一台能量产的DUV光刻机!”

随着这一声承诺,一份红头文件在当晚就草拟完成。

任命林星石同志为“国家DUV光刻机重大专项”总设计师。

并没有太多的寒暄,林星石立刻进入了角色。他让人找来一张巨大的白纸,直接铺在会议桌上,开始勾勒“光刻军团”的组织架构。

“光源系统,这是心脏。由喜都光机所牵头,我会让星火科技的激光实验室配合,另外引入几家民营激光企业做备份,搞赛马。”

“物镜系统,由沪市光机所和国望光学负责,必须攻克大口径非球面镜的加工难题。”

“双工件台,这个硬骨头交给清大和华卓精科,哈工大的精密工程所做技术支援。”

“浸没式系统,我自己带队抓。”

一条条指令,一个个名字,被填入那张巨大的架构图中。在场的专家们看着这张图,仿佛看到了一支庞大的部队正在集结。