第1136章 留给我们的时间,已经不多了!

与此同时。

龙国。

破壁专项指挥部。

李阳坐镇指挥部第一负责人的位置,同样面临艰巨的挑战。

全国顶尖的力量被动员起来,攻关EUV光刻机的核心子系统。

然而!

在光源这一最关键的部分,团队遇到了硬骨头。

采用主流激光等离子体(LPP)方案的实验小组遇到了大麻烦。

他们无法在提升激光功率以达到EUV生成阈值的同时,保证光学元件的使用寿命和等离子体靶材的稳定性。

几次实验下来,昂贵的镜片被烧蚀,产生的EUV光功率也极不稳定,远达不到要求。

“李工,ASML的路线,我们短时间内恐怕很难完全复制。”

“他们的技术积累太深了,特别是那个锡滴靶材的产生和激光轰击的同步控制,精度要求变态的高。”

光源小组的负责人语气沉重地向李阳汇报,脸色有些颓然。

原本以为,在李阳的带领下,凭借着他们自身丰富的经验,这项技术可以轻松突破。

但现在看来,他们还是有些小瞧这种高精度的光刻机了。

这让自信满满的他们,遭受了不小的打击。

项目刚进展不久,就遇到了第一个重大瓶颈,指挥部里的气氛有些凝重。

如果光源问题无法解决,后续的所有工作都无从谈起。

李阳静静地听着汇报,翻看着失败的实验数据和损伤元件的照片。

他没有指责,而是陷入了沉思。

良久,他抬起头,目光扫过在场的专家。

“我们是不是陷入了一个思维定式?”

他缓缓开口。

“为什么一定要完全沿着ASML走过的路再走一遍?”

“他们用LPP成功了,不代表这是唯一的路径,也不一定是最适合我们基础的路径。”

他走到白板前,画下了几个简单的示意图。

“我们最大的优势是什么?”

“是我们在大型尖端工程装置上积累的经验,尤其是对高温等离子体的理解和控制能力。”