每个工人进入前都要经过四道净化程序,连空气流速都要精确控制在0.45米/秒以内。”
姜思夏好奇地观察着生产线:“这比上次来看的还要先进,跟沪江相比也不一样。”
“确实不同,”刘建章点头,“按照周总的规划,我们采取南北两条腿走路!”
“沪江走浸润路线,而我们继续深挖干式光刻的潜力。”
“干式光刻在成熟制程方面有很大优势,我们要兼顾技术和成本!”周博解释道。
刘建章道:“在GK-1的基础上,我们自主升级了GK-2光刻机。
采用了双工作台设计,分辨率达到0.8微米,套刻精度稳定在150纳米。
预计年产能可达80万片晶圆,可以满足国内外成熟制程的需要。”
说着话,几人来到在硅材料预处理车间。
刘建章指着一台设备说:“这是我们最引以为傲的突破——硅材料纯度达到99.%。
这是我们自主研发的提纯工艺生产,精度领先全球!”
周博仔细查看了一片刚切割好的晶圆:“7个9,硅谷现在能搞到几个9?”
“5个9!”
刘建章推了推眼镜,“我们通过改进区域熔炼法,在晶体生长过程中引入了磁场控制技术,将杂质浓度降低了整整一个数量级。”
走进光刻车间,数十台光刻机整齐排列。
刘建章在一台设备前停下:“这就是我们解决了‘环境适应性难题’的新产线。
通过在光刻胶中添加特殊的稳定剂,现在良品率稳定在92%以上。
香江集团的芯片,都是由这条产线供应的。”
周博指着其中一台说:“这就是解决了‘鸡蛋清难题’的生产线。
现在我们改用标准化光刻胶,良品率稳定。”
“真是太了不起了!”姜思夏感叹道,“记得去年在沪江时,爸爸还在为60%的良品率发愁。”
周博笑道:“明年香江集团要冲击10亿鹰元产值,就要靠这条产线!”