第379章 光刻巨兽

2017年8月,南都,烈日当空。

江北新区的星火半导体制造基地外,一支低调的黑色车队缓缓驶入。

车轮碾过沥青路面,最终停在一座充满未来感的银灰色巨型建筑前。

车门打开,科技部部长一行人走下车。

林院士,咱们又见面了。部长快步走上前,握住早已等候在门口的林星石的手,目光中满是期待,虽然你在电话里汇报过进度,但不仅是我,上面几位领导都坐不住了,非要我亲眼来看看才放心。

林星石微笑着侧身引路:百闻不如一见,各位领导,请。

一行人步入大厅,冷气瞬间驱散了暑意。按照常理,进入这种级别的晶圆厂,往往需要经过繁琐的更衣消毒程序,换上厚重的连体防尘服。

随行的几位领导已经习惯性地看向更衣室的方向,却发现林星石直接带着大家走向了核心区的气闸门。

林院士,这……不用换衣服?一位司长疑惑地问道。

林星石停下脚步,指了指头顶和四周隐约可见的气流喷口:这是我们自主设计的动态层流环境控制系统。在这个区域,空气以特定的流速和方向垂直流动,形成了一道道看不见的空气墙,能瞬间压制并带走人体产生的微尘。只要不是直接接触晶圆的核心腔室,普通参观区完全不需要穿防尘服。

这也是为了降低运维难度,林星石补充道,如果几百名工程师每天进出都要花半小时换衣服,那效率太低了。

部长赞许地点点头:这一手降维打击倒是很符合你们星火的风格,把功夫花在系统设计上,而不是死磕单点技术。

穿过气闸门,众人走进了一条宽阔的空中参观长廊。

当厚重的隔音门缓缓滑开,视野豁然开朗的那一刻,所有人都停下了脚步。

原本还在小声交谈的专家和领导们,瞬间安静下来。

映入眼帘的,不是他们想象中排列整齐的一台台光刻机。