矗立在他们面前的，是一座。

一座建在厂房里的。

这台庞然大物足有三层楼高，占地面积目测超过五百平米。巨大的银色金属管道如同血管般密布其上，连接着各个独立的模块舱体。与之相比，参观长廊上的人显得格外渺小。

这……这就是那台DUV？部长的声音里带着一丝震撼。

准确地说，这是一座光刻工厂。林星石站在落地玻璃前，看着下方的巨兽，眼神里闪烁着光芒。

他指着正前方那个最庞大的模块，那里有一组极其复杂的管道系统一直延伸到建筑的地下部分。

那是光源系统。

一位头发花白的老者快步走过来，他是喜都光机所的老所长，也是这次国产光刻机光源系统的总师。看着这个巨大的装置，老人的脸上满是自豪。

部长，各位领导，老总师指着那些粗壮的管道，声音洪亮，以前我们搞光刻机，最头疼的就是光源功率不够。ASML为了把光源塞进那那个小盒子里，不得不把激光器做得极其精密微小，结果就是散热难、寿命短、功率衰减快。

他拍了拍面前的栏杆，仿佛在拍打老伙计的肩膀：但在林院士的工厂即机器理念下，我们彻底放开了手脚！既然塞不进去，那就不塞了！我们直接构建了一个超大规模的激光发生阵列，体积是ASML光源系统的二十倍！

二十倍……随行的专家倒吸一口凉气。

没错！老总师眼中精光四射，体积大了，我们就能用上工业级的液冷循环系统。你们听——

众人屏息凝神，隐约能听到一种低沉而连绵的震动声，像是大江大河在地下奔流。

这是冷却水在管道中高速流动的声音。因为散热效率的指数级提升，我们的光源功率不仅没有衰减，反而实现了持续的超频输出。稳定性远超国外同类产品！

部长听得连连点头，目光转向另一侧：那那个巨大的圆筒结构是什么？

那是我们的物镜系统。